Régulateurs de gaz ultra-haute pureté

Régulateur de réduction de pression UHP une phase, série FR1000

Le FR1000 est un régulateur UHP pour la livraison de gaz destiné aux semi-conducteurs et d'autres procédés. Avec un débit faible à intermédiaire, il convient aux blocs de vannes, armoires à gaz et autres app. de fabrication de semi-conducteurs.

Régulateur de pression à membrane jointe haut débit UHP (jusqu'à 3/4 pouce) - Série FR1200

Le régulateur à membrane jointe, à débit élevé, offre une étanchéité à des P de 1 700 psig et est doté d'un faible facteur de rappel pour une sensibilité élevée, idéal pour les systèmes de gaz en vrac et spécialisés haute pureté.

Régulateur de réduction de pression UHP à une phase et à haut débit de la série FR1400

Le FR1400 est un régulateur UHP à membrane jointe, pour la livraison de gaz sous haute pression pour les semi-conducteurs et d'autres procédés en salle blanche. Capable d'un débit élevé, il convient aux app. de gaz spécialisées ou diverses.

Vanne à membrane haute pression UHP (ultra-haute pureté) - Série 945

La vanne à membrane 945 offre une fiabilité et une étanchéité excellentes : elle est parfaite pour les applications UHP. Disponible dans des configurations de capacités de débit jusqu'à 0,25 Cv et des pressions de travail jusqu'à 3 500 psig.