Ultra-High Purity (UHP) High Flow Diaphragm Valve – 955 Series
La vanne à membrane 955 est disponible avec des actionneurs manuels ou pneumatiques. Elle garantit fiabilité, étanchéité et une propreté irréprochables, ce qui permet de l’utiliser dans la fabrication de semi-conducteurs UHP.
24 références disponibles
| Référence | Raccord d’entrée | Type de commande | Raccord de sortie |
|---|---|---|---|
955AOPLPNCSFS8FF | 1/2" Face Seal, Female | Air Operated, Normally Closed | 1/2" Face Seal, Female |
955AOPLPNCSFS8FFVESP | 1/2" Face Seal, Female | Air Operated, Normally Closed | 1/2" Face Seal, Female |
955AOPLPNCSFS8FM | 1/2" Face Seal, Female | Air Operated, Normally Closed | 1/2" Face Seal, Male |
955AOPLPNCSFS8FMVESP | 1/2" Face Seal, Female | Air Operated, Normally Closed | 1/2" Face Seal, Male |
955AOPLPNCSFS8MF | 1/2" Face Seal, Male | Air Operated, Normally Closed | 1/2" Face Seal, Female |
955AOPLPNCSFS8MFVESP | 1/2" Face Seal, Male | Air Operated, Normally Closed | 1/2" Face Seal, Female |
955AOPLPNCSFS8MM | 1/2" Face Seal, Male | Air Operated, Normally Closed | 1/2" Face Seal, Male |
955AOPLPNCSFS8MMVESP | 1/2" Face Seal, Male | Air Operated, Normally Closed | 1/2" Face Seal, Male |
955AOPLPNCSFSFF | 1/4" Face Seal, Female | Air Operated, Normally Closed | 1/4" Face Seal, Female |
955AOPLPNCSFSFM | 1/4" Face Seal, Female | Air Operated, Normally Closed | 1/4" Face Seal, Male |
955AOPLPNCSFSMM | 1/4" Face Seal, Male | Air Operated, Normally Closed | 1/4" Face Seal, Male |
955AOPLPNCSTS6 | 3/8" Tube Stub | Air Operated, Normally Closed | 3/8" Tube Stub |
955AOPLPNCSTS8 | 1/2" Tube Stub | Air Operated, Normally Closed | 1/2" Tube Stub |
955AOPLPNCSTS8VESP | 1/2" Tube Stub | Air Operated, Normally Closed | 1/2" Tube Stub |
955MSFS8FF | 1/2" Face Seal, Female | Mini-Lever | 1/2" Face Seal, Female |
955MSFS8FFVESP | 1/2" Face Seal, Female | Mini-Lever | 1/2" Face Seal, Female |
955MSFS8FM | 1/2" Face Seal, Female | Mini-Lever | 1/2" Face Seal, Male |
955MSFS8FMVESP | 1/2" Face Seal, Female | Mini-Lever | 1/2" Face Seal, Male |
955MSFS8MF | 1/2" Face Seal, Male | Mini-Lever | 1/2" Face Seal, Female |
955MSFS8MFVESP | 1/2" Face Seal, Male | Mini-Lever | 1/2" Face Seal, Female |
955MSFS8MM | 1/2" Face Seal, Male | Mini-Lever | 1/2" Face Seal, Male |
955MSFS8MMVESP | 1/2" Face Seal, Male | Mini-Lever | 1/2" Face Seal, Male |
955MSTS8 | 1/2" Tube Stub | Mini-Lever | 1/2" Tube Stub |
955MSTS8VESP | 1/2" Tube Stub | Mini-Lever | 1/2" Tube Stub |
Description
La vanne à membrane dotée d’un corps en acier inoxydable de 1-/14 pouce de la série 955 de Parker se caractérise par une excellente étanchéité, un cycle de vie prolongé et une faible génération de particules, ce qui en fait la vanne idéale pour les applications de semi-conducteurs UHP.
La conception de la série 955 se distingue par son absence de filetages ou de ressorts en contact avec le fluide de process, afin de réduire la génération et le piégeage de particules pour une réduction de la contamination des processus, ce qui est essentiel pour les applications de semi-conducteurs. Grâce à la précision de sa conception, la vanne contrôle les contraintes du siège et de la membrane afin d’offrir une durée de vie fiable et sans entretien. Les composants en contact avec les fluides de la série 955 sont fabriqués dans des métaux techniques afin de garantir une excellente résistance à la corrosion et une très bonne étanchéité. L’intérieur du corps est fabriqué en acier inoxydable 316L VeriClean™ électro-poli. VeriClean™ est une marque d'acier inoxydable de grade UHP appartenant à Parker. La membrane est en alliage de cobalt extrêmement résistant. Le siège est constitué de matériaux PCTFE, PEEK® et Vespel® afin de pouvoir utiliser la vanne 955 avec un large éventail de fluides de process.Ces matériaux associés aux caractéristiques de la série 955 confèrent une excellente résistance à la corrosion et un cycle de vie prolongé à des pressions d’arrivée de 250 psig.
Les vannes pneumatiques de cette série peuvent être configurées de manière à fournir une indication d’ouverture et de fermeture assortie d’un interrupteur de fin de course ou d’un détecteur de proximité. Elle est également disponible dans plusieurs configurations de corps, comme la 955Y (vanne en Y) et la SM955 (montage en surface).
Le joint (siège) intérieur et le joint extérieur métallique des vannes de la série 955 sont soumis à un essai d’étanchéité à l’hélium au moyen d’un spectromètre de masse, afin de garantir leurs performances et leur fiabilité dans les applications UHP exigeantes.
Marchés :
• Semi-conducteurs
• Laboratoires d'analyse
• Industrie pharmaceutique
• Biopharmacie
• Aérospatiale
• Industrie
Caractéristiques/Avantages :
• Finition de surface par électropolissage de 5 micropouces (Ra)
• Cycle de vie élevé (y compris l'entretien anti-corrosion)
• Rigidité interne et absence de filetage réduisant la génération de particules et le piégeage du gaz
• Pleinement fonctionnel, du vide jusqu’à 250 psig
• Taux de fuite interne : ≤ 1 x 10-9 scc/s He
• Taux de fuite extérieur : ≤ 2 x 10-10 scc/s He
• Pression nominale de commande AOP de 75 psig
Applications :
• Gaz corrosifs et spécialisés
• Outils semi-conducteurs
• Crochets pour outils
• Armoires à gaz
• Blocs de vannes
VeriClean™ est une marque de Parker Hannifin Corporation
Vespel® est une marque déposée de DuPont Performance Elastomers L.L.C.
PEEK™ est une marque de Victrex plc.
